玻璃擴散泵的工作原理和分類

　　玻璃擴散泵也是一種獲得高真空的設備。玻璃擴散泵的泵體、油鍋、導流管、傘帽、噴口、冷水壁、冷水帽(有的泵沒有冷水帽)和冷水擋板等幾部分全部用玻璃焊接制成，具有透明、直觀、便于操作和清洗等優(yōu)點。已廣泛地應用在科研、生產、教學等各個領域中。

　　玻璃擴散泵的工作原理

　　油鍋中的擴散泵油在真空中被加熱沸騰后，所產生的大量油蒸氣經導流管上升至噴口，然后沿傘帽的斜角高速噴出。擴散泵進氣口附近的被抽氣體所產生的分壓高于蒸氣流中該氣體的分壓，故使氣體分子不斷地擴散到蒸氣流中去。氣體分子被油蒸氣撞擊，沿蒸氣流的方向高速運動。氣體分子碰到泵壁又反射回來，再次受到蒸氣流的碰撞而重新沿著蒸氣的方向流向泵壁。經過幾次碰撞以后，氣體分子被壓縮到下一級噴口。氣體分子被下一級噴口噴出的油蒸氣逐級壓縮到低真空端，最后被前級泵抽走。而油蒸氣碰到冷泵壁上被冷凝成泵油以后，再流回油鍋，重新被加熱蒸發(fā)。如此循環(huán)工作，以達到抽氣的目的。

　　玻璃擴散泵的種類及性能

　　以工作液的種類劃分，玻璃擴散泵主要有油擴散泵和汞擴散泵兩大類。油擴散泵和汞擴散泵又有大、中、小各種型號。玻璃擴散泵目前全國還沒有統(tǒng)一的規(guī)格標準和命名，用戶只能根據生產單位提供的抽速和極限真空度這兩項性能指標來選用。

　　幾種典型玻璃擴散泵。三級油擴散泵體積??；效率高，真空度可達10-9托，抽速約40升/秒，可用在較小的真空系統(tǒng)上。

　　四級油擴散泵有大小兩種規(guī)格，它們的極限真空度均為10-10托。小型四級泵的抽速約為90升/秒；大型四級泵的抽速約為120升/秒。因四級泵比三級泵多了一級噴口，真空度和抽速都有所提高，可用在較大一點的真空系統(tǒng)上。特殊的大型四級油擴散泵，其極限真空度可達10-10托，抽速可達300升/秒。這種泵用途較廣。

　　臥式油擴散泵。它的極限真空度達10-10托，但抽速較小，約10升/秒。由于這種泵的每一級的油鍋各單獨使用一個電爐，而每一電爐又都要用調壓變壓器來控制，操作復雜。因此，目前已很少生產和使用這種擴散泵。

　　小型汞擴散泵。它的極限真空度為10-7托，抽速為20升/秒?？捎迷谛⌒偷墓婵障到y(tǒng)上。

　　大型的汞擴散泵。它的極限真空可達10-10托，抽速約130升/秒。它是目前抽速較大的一種汞擴散泵。在使用汞擴散泵時，有的必須加用冷阱，以避免汞蒸氣進入被抽容器。