渦旋干式真空泵的工作原理與結(jié)構(gòu)

渦旋干式真空泵的工作原理與結(jié)構(gòu)

　　渦旋干式真空泵的結(jié)構(gòu)簡單，零部件少；間隙小、泄漏率小，具有較高的壓縮比，在較寬壓力范圍內(nèi)有穩(wěn)定的抽速；由于壓縮腔內(nèi)容積的變化是連續(xù)的，因而驅(qū)動力矩變化小，功率變化?。徽駝釉肼曅?，可靠性高。

　　由于渦旋泵的上述優(yōu)點，渦旋泵在一些發(fā)達(dá)國家已經(jīng)逐步代替了油封式機(jī)械泵。目前渦旋泵主要應(yīng)用于分析儀器、半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線、液晶顯示器生產(chǎn)線和科研設(shè)備上。

　　由于渦旋泵加工制造比較困難，再加上自身型線的特點，渦旋泵的抽速最大的也不超過10L·S-1 ，抽速最小的在1L·S-1左右，抽速大于4L·S-1的渦旋泵全部采用雙側(cè)渦旋結(jié)構(gòu)，而抽速小于4L·S-1的泵多采用單側(cè)渦旋結(jié)構(gòu)。在實際應(yīng)用中用量最大的是抽速為8L·S-1渦旋泵。

　　渦旋型線參數(shù)相同、相位角差π、基圓中心相距r (r的取值與漸開線節(jié)距及壁厚有關(guān))的動渦旋盤與靜渦旋盤組裝后，可以形成數(shù)對封閉的月牙腔。當(dāng)偏心軸推動動渦旋盤中心(即基圓圓心)繞靜渦旋盤中心(即基圓圓心)做半徑為r的圓周軌道運動時，這些封閉月牙腔容積相應(yīng)地擴(kuò)大或縮小，由此實現(xiàn)氣體的吸人、壓縮和排氣的目的。低壓氣體從靜渦旋盤上開設(shè)的吸氣口進(jìn)入吸氣腔，經(jīng)壓縮后由靜渦旋盤中心處的排氣口排出。

　　渦旋泵的氣體在由渦旋轉(zhuǎn)子和渦旋定子組成的月牙腔內(nèi)壓縮，渦旋定子固定在機(jī)架的周邊上，在渦旋定子的周邊上開設(shè)有吸氣口，在轉(zhuǎn)子和定子渦旋體中心部位開設(shè)有排氣口。渦旋轉(zhuǎn)子隨著曲軸的回轉(zhuǎn)以偏心量r為半徑繞定子中心做公轉(zhuǎn)運動。渦旋轉(zhuǎn)子還受防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的約束，不能自轉(zhuǎn)，始終保持著一種固定的姿態(tài)，其中心繞渦旋定子中心作半徑為r的圓周運動。

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