目前真空技術(shù)的應(yīng)用已擴(kuò)展到整個(gè)工業(yè)，某些行業(yè)，如食品、衛(wèi)生、半導(dǎo)體、電子工業(yè)等，不能使用有油的旋片機(jī)械泵。因此，干式真空泵的出現(xiàn)滿足了無油工藝的要求。
干式真空泵有非接觸型的羅茨式、爪式、螺桿式，接觸型的葉片式、凸輪式、活塞式等。非接觸型可以高速旋轉(zhuǎn)，但最大壓縮比小。接觸型的轉(zhuǎn)速不能太高，但最大壓縮比大。尤其存大氣壓附近，因逆流量變大使后者的壓縮比為前者的5～8倍。另外，干式真空泵的轉(zhuǎn)速越高，其壓縮比越大。從使用壽命、所能達(dá)到的壓縮比、轉(zhuǎn)速及動(dòng)平衡性等方面考慮，常采用多級(jí)爪式轉(zhuǎn)子串聯(lián)或羅茨轉(zhuǎn)子與多級(jí)爪式轉(zhuǎn)子串聯(lián)組合成千式真空泵。
1．羅茨泵
羅茨真空泵是一種無內(nèi)壓縮的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菔秸婵毡?。在羅茨泵泵腔內(nèi)有兩個(gè)形狀對(duì)稱的轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子形狀有兩葉、三葉和四葉。兩個(gè)轉(zhuǎn)子彼此朝相反方向旋轉(zhuǎn)，由軸端齒輪驅(qū)動(dòng)同步轉(zhuǎn)動(dòng)。氣體進(jìn)入泵體后，隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，被抽氣體與前面出氣口連通，被前級(jí)泵排出。與旋片機(jī)械泵不同，羅茨泵沒有壓縮氣體，因此，羅茨泵不能單獨(dú)對(duì)大氣排氣，必須配以前級(jí)機(jī)械泵同時(shí)工作，由前級(jí)機(jī)械泵將羅茨泵排除的氣體抽走。
2．爪式泵
爪式泵采用了形狀復(fù)雜的爪形轉(zhuǎn)子。吸氣口和排氣口分別固定在轉(zhuǎn)子兩側(cè)端蓋的側(cè)面上，與上一級(jí)和下一級(jí)轉(zhuǎn)子相連。兩個(gè)爪形轉(zhuǎn)子與泵體之間形成泵腔的抽氣容積，當(dāng)兩轉(zhuǎn)子按圖示方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，吸氣口與泵腔接通，泵腔容積由小變大而吸氣：當(dāng)轉(zhuǎn)子關(guān)閉吸氣口時(shí)吸氣結(jié)束，隨后泵腔容積由大變小而壓縮氣體；當(dāng)泵腔容積與排氣口接通時(shí)，泵腔排氣，直到泵腔與排氣口隔斷時(shí)為止，排氣結(jié)束。轉(zhuǎn)子繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，重復(fù)上述吸氣、壓縮、排氣過程。
爪式泵常采用兩種結(jié)構(gòu)：三級(jí)爪式轉(zhuǎn)子加一級(jí)羅茨式轉(zhuǎn)子構(gòu)成多級(jí)泵；四級(jí)爪式轉(zhuǎn)子串聯(lián)構(gòu)成多級(jí)泵。這種泵的吸氣口、排氣口設(shè)置在泵腔的端壁上。多級(jí)連接很方便，氣道流暢，泵內(nèi)腔壓強(qiáng)變化平緩，有利于防止可凝性氣體的凝結(jié)。
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