擴(kuò)散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一。
擴(kuò)散泵機(jī)組特點(diǎn)
JKT、JK系列油擴(kuò)散真空泵機(jī)組是用來(lái)獲得高真空(10-2—10-5Pa)的主要設(shè)備。它以油擴(kuò)散泵為主泵和閥門(mén)、水冷擋板、管道、機(jī)械真空泵(前級(jí)泵)等組成高真空抽氣系統(tǒng)，可獲得(10-2—10-4Pa)的工作真空度。擴(kuò)散泵機(jī)組的特點(diǎn)是抽氣能力大，抽速?gòu)?90L/S至49000L/S范圍內(nèi)可供選擇;并可長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定連續(xù)工作。
擴(kuò)散泵機(jī)組用途
它被廣泛地應(yīng)用在電子、化工、冶金、航空、航天、材料、生物醫(yī)藥、原子能、宇宙探測(cè)等高科技領(lǐng)域。如各種真空爐、真空鍍膜設(shè)備、真空冷凍干燥設(shè)備等。典型真空機(jī)組是用氣動(dòng)閥門(mén)程序控制。
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