一般的機(jī)械泵極限真空只能抽到5×10^-4乇左右，為了獲得更高的真空度，通常在被抽容器和機(jī)械泵之間串接一個(gè)蒸氣流擴(kuò)散泵。

　　蒸氣流擴(kuò)散泵屬于利用高速運(yùn)動(dòng)的蒸氣流來帶走氣體的蒸氣流泵，是獲得10^-3~10^-7乇高真空的重要工具。經(jīng)過幾十年的發(fā)展，蒸氣流擴(kuò)散泵的結(jié)構(gòu)性能已較完善，當(dāng)它配用適當(dāng)?shù)睦淠龘醢搴鸵旱溱?，并進(jìn)行烘烤除氣，也熊獲得10^-9乇的超高真空。和機(jī)械真空泵一樣，擴(kuò)散泵也是電光源工業(yè)中不可缺少的設(shè)備之一。

　　蒸氣流擴(kuò)散泵的主要優(yōu)點(diǎn)是：抽氣能力大；抽速范圍寬(目前生產(chǎn)的擴(kuò)散泵抽速從每秒幾升到十萬多升)，對(duì)各種氣體無選擇性，包括惰性氣體在內(nèi)都有相同的抽速；結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，沒有機(jī)械運(yùn)動(dòng)部分，操作維護(hù)都很方便。

　　蒸氣流擴(kuò)散泵的主要結(jié)構(gòu)部件有泵體、冷卻水套(或冷卻帽)、噴嘴，蒸氣流導(dǎo)管和加熱器等。

　　蒸氣流擴(kuò)散泵是利用高速蒸氣流的作用，存被抽容器和擴(kuò)散泵之間建立起被抽氣體的分壓強(qiáng)差，這樣被抽氣體分子便不斷擴(kuò)散到高速定向蒸氣流中，再被壓縮到前級(jí)空間，最后為前級(jí)泵所抽走。

　　蒸氣流擴(kuò)散泵必須在一定的前置真空下才能工作，當(dāng)前級(jí)泵(一般為機(jī)械泵)使擴(kuò)散泵達(dá)到預(yù)真空后，即可用電爐將泵內(nèi)工作液加熱到沸騰，它產(chǎn)生的大量蒸氣通過泵芯導(dǎo)流管分送到各級(jí)噴嘴，蒸氣在噴嘴帽處改變方向，從噴口噴出后，即形成速度很高的定向密集的蒸氣流。原來體積較大、壓強(qiáng)較低的氣體，好象被蒸氣流逐級(jí)向下推送，經(jīng)過幾級(jí)蒸氣流的壓縮后，到達(dá)前級(jí)空間時(shí)，已成為體積較小，壓強(qiáng)較高的氣體，隨即被前級(jí)機(jī)械泵抽走。而從噴嘴噴出的蒸氣流碰現(xiàn)水冷泵壁上，被冷凝成液體流圓到分餾鍋內(nèi)，再受熱變成蒸氣。如此反復(fù)循環(huán)，逐漸在噴嘴的上端和附近形成了一個(gè)低壓強(qiáng)區(qū)域，被抽容器內(nèi)的壓強(qiáng)便不斷降低。

　　高速的蒸氣流對(duì)前級(jí)真空室里的高壓強(qiáng)氣體來說，如同一道屏障，阻止它返回高真空端。一般擴(kuò)散泵高真空端壓強(qiáng)可低到10-8乇左右，而前級(jí)壓強(qiáng)可高到10^-1乇。