提高油擴散泵極限真空的方法
發(fā)布時間：2016年04月22日 09:36 閱讀：6573
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澤德
提高油擴散泵極限真空的方法大體分為擴散泵結(jié)構(gòu)設(shè)計上的改進(jìn)、減少油蒸氣的返流和減少氣體的反擴散三種，其主要途徑接下來一起了解下。
1．?dāng)U散泵結(jié)構(gòu)設(shè)計上的改進(jìn)
改進(jìn)擴散泵的結(jié)構(gòu)，如加分餾裝置；合理分配鍋爐加熱功率，增大鍋爐中心區(qū)；改進(jìn)噴嘴角度設(shè)計；在一級導(dǎo)流管中加裝加熱器進(jìn)行氣相加熱，以增加蒸氣流速度減少蒸氣流的散射。上述措施也以減少油的裂化、返流，提高擴散泵的極限真空。
2．減少油蒸氣的返流
(1)加擋油帽
在第一級噴嘴上面，加水冷擋油帽，通常可使返油量降低半個到二個數(shù)量級。
(2)障板
使用水冷或低溫介質(zhì)冷卻的各種擋板，可使返油量大大降低。
(3)冷阱
使用液氮冷阱捕集返流蒸氣。液氮冷阱不能全部把油蒸氣擋住，仍有少量的油蒸氣分子通過冷阱進(jìn)入被抽容器中，其途徑：①兩個油分子之間的碰撞；②油分子和氣體分子的多次碰撞；③沒被捕獲的油分子反彈到高真空的區(qū)域中；④室溫下油從泵壁表面遷移。擴散泵系統(tǒng)采用液氮冷阱后可獲得10-8Pa～10-9Pa的極限真空。
(4)吸附阱
擴散泵進(jìn)氣口安裝13X型分子篩或氧化鋁吸附阱吸附返流的油蒸氣后，可以獲得10-8Pa～10-9Pa的真空度。這種阱有如下缺點：①吸附劑易粉末化；②吸附劑要再活化；③需經(jīng)常更換吸附劑，操作不便。
(5)鈦升華阱
擴散泵和真空室之間裝上用液氮冷卻的鈦升華阱，既可以消除有機物蒸氣對系統(tǒng)的污染，又能降低CO、CO2和H2的分壓。
(6)閥門
擴散泵油的返流，在泵啟動和停止后的一段時間內(nèi)有兩個最大峰值，泵運轉(zhuǎn)時可利用閥門的關(guān)閉避開這兩個最大返油區(qū)。
3．減少氣體的反擴散
反擴散過去的氣體的分壓和擴散泵前級排氣口處該氣體的分壓成正比，降低前級壓力和壓縮比可以降低。
擴散泵的前級再串接一臺擴散泵可以降低前級氣體分壓。采用多級泵(目前多采用四級泵代替原來的三級泵)，則可以降低壓縮比，使反擴散減少。
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