制冷機低溫泵將低溫面、擋板組裝在封閉循環(huán)的低溫制冷機系統(tǒng)中，與制冷機組合為一體，尤其近年來，隨著可靠性高的小型制冷機商品化，使用帶小型制冷機的低溫泵越來越多。隨著研究趨勢向抽速大、抽氣時間短和壓強低的方向發(fā)展，制冷機低溫泵技術(shù)更具有重要意義：
?、倏梢詫崿F(xiàn)抽氣系統(tǒng)完全自動化，便于在真空工藝過程中集中控制。
②結(jié)構(gòu)尤其適宜于S≥10m3/s系統(tǒng)。
?、劭蓪崿F(xiàn)較高的抽速，可達(dá)S≥100m3/s，滿足大型真空設(shè)備的需要。
封閉循環(huán)小型制冷機低溫泵由低溫泵體、抽氣低溫板、輻射屏蔽板、制冷機和壓縮機等部分組成。所選用的制冷機是兩級制冷，其制冷能力為：第一級為80K，50～80W；第二級為20K，1．5～10W，在無負(fù)荷時，最低溫度達(dá)到10K。制冷機的一、二級冷頭分別與輻射屏和低溫板相連，低溫板溫度如達(dá)到15～20K，大部分氣體都能冷凝，可達(dá)到抽氣目的。
制冷機低溫泵的制冷機一、二級冷頭直接和輻射屏、冷板相連，在制冷機與壓縮機連接管路中流動的是常溫、高(或低)壓氣體介質(zhì)，不存在低溫介質(zhì)的輸送問題，是目前比較理想的清潔超高真空泵。這種低溫泵廣泛用于薄膜制備、微電子學(xué)技術(shù)、高能物理、小型環(huán)境模擬設(shè)備以及其他各個工業(yè)領(lǐng)域。為得到超高真空，必須抽除氦、氖、氫等氣體，在低溫板上涂吸附劑加活性炭等即可達(dá)到此目的。
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