一、變?nèi)菡婵毡?/div>
它是利用泵腔容積的周期變化來完成吸氣和排氣以達到抽氣目的的真空泵。氣體在排出泵腔前被壓縮。這種泵分為往復式及旋轉式兩種。
1、往復式真空泵
利用泵腔內(nèi)活塞往復運動，將氣體吸入、壓縮并排出。又稱為活塞式真空泵。
2、旋轉式真空泵
利用泵腔內(nèi)轉子部件的旋轉運動將氣體吸入、壓縮并排出。它大致有如下幾種分類：
(1)油封式真空泵它是利用真空泵油密封泵內(nèi)各運動部件之間的間隙，減少泵內(nèi)有害空間的一種旋轉變?nèi)菡婵毡?。這種泵通常帶有氣鎮(zhèn)裝置。它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑閥式真空泵、余擺線真空泵等。
(2)液環(huán)真空泵將帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內(nèi)。當它旋轉時，把工作液體拋向泵殼形成與泵殼同心的液環(huán)，液環(huán)同轉子葉片形成了容積周期變化的幾個小的旋轉變?nèi)菸艢馇弧９ぷ饕后w通常為水或油，所以亦稱為水環(huán)式真空泵或油環(huán)式真空泵。
(3)干式真空泵它是一種泵內(nèi)不用油類(或液體)密封的變?nèi)菡婵毡?。由于干式真空泵泵腔?nèi)不需要工作液體，因此，適用于半導體行業(yè)、化學工業(yè)、制藥工業(yè)及食品行業(yè)等需要無油清潔真空環(huán)境的工藝場合。
(4)羅茨真空泵泵內(nèi)裝有兩個相反方向同步旋轉的雙葉形或多葉形的轉子。轉子間、轉子同泵殼內(nèi)壁之間均保持一定的間隙。
二、動量傳輸泵
它依靠高速旋轉的葉片或高速射流，把動量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸?shù)匠隹凇?/div>
分子真空泵
它是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。這種泵具體可分為：
(1)牽引分子泵氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量，被驅送到泵的出口。
(2)渦輪分子泵靠高速旋轉的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現(xiàn)抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。
(3)復合分子泵它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來的一種復合型的分子真空泵。
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