吸附泵(高真空)的應(yīng)用
發(fā)布時間：2016年08月29日 09:49 閱讀：5346
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澤德
普通表面或多孔材料對氣體的物理吸附或吸收可用來獲得高真空?？梢栽谌我粔簭?qiáng)下利用吸附或吸收技術(shù)，但由于實(shí)際上的限制，它只作為某種特殊應(yīng)用，在真空技術(shù)中發(fā)展起來。
為了消除油封機(jī)械泵產(chǎn)生的碳?xì)浠衔镂廴镜目赡苄?，吸附泵常用于超高真空系統(tǒng)的粗抽，并且常常與干式(無油)機(jī)械泵一起使用。按抽氣步驟依次使用兩臺或三臺吸附泵，可以從真空容器中排走大量的空氣。通過轉(zhuǎn)換到離子一吸氣劑泵抽氣，可以獲得足夠低的壓強(qiáng)而不使其過載。
利用吸附獲得高真空，其方法可以是通過升溫將吸附氣體物質(zhì)解吸，然后回到室溫，也可以冷卻到低溫。
商業(yè)用吸附泵通常是為獲得前級真空而設(shè)計(jì)的。然而，用基本結(jié)構(gòu)類似的泵進(jìn)行多級抽氣也能獲得高真空，但要有較高的入口流導(dǎo)。
氣密封接的器件通常在升溫條件下排氣并封接。冷卻期間，吸附位的數(shù)量要多到足以提供明顯降低壓強(qiáng)的抽氣作用，從而可將壓強(qiáng)降低一個或幾個數(shù)量級。凡有大的溫度變化時，在高真空中必然存在吸附效應(yīng)。例如，高真空爐在石墨加熱元件還熱的情況下使真空爐與泵隔離并切斷電源，只要真空爐密封良好而且殘余氣體能被充分地吸附時將發(fā)生真空爐的高真空維持一夜的情況。
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