在10-7~10-4毫米汞桂的壓力下(為了得到這一壓力，必須使用高真空泵)，被排除氣體的分子自由程長(zhǎng)度實(shí)際上常大于泵的進(jìn)口孔直徑，因此，在泵的進(jìn)口孔內(nèi)氣體的流動(dòng)程常是分子流動(dòng)制度。氣體分子在本身熱運(yùn)動(dòng)下，徑過進(jìn)口管及環(huán)形隙縫由工作室壁和噴口形成的所稆擴(kuò)散環(huán))，沿著指向蒸汽流股的方向運(yùn)動(dòng)。但因蒸汽流股有著指向與流股運(yùn)動(dòng)相反方向的流線，所以在通過進(jìn)口管的氣體分子總數(shù)中有一部份氣體分子與重的蒸汽分子相碰撞，向相反方向反射，而不進(jìn)入流股。其他的分子將被流股所奪取井帶走。在高真空泵中奪取氣體的機(jī)理完全決定于純擴(kuò)散過程。由于在蒸汽流股上部和在流股內(nèi)部氣體濃度的差別(在接近噴口的蒸汽流股中氣體濃度實(shí)際上等于零)，有氣體向蒸汽流股中擴(kuò)散的過程產(chǎn)生。進(jìn)入流股中的氣體分子從氣流方向的蒸汽分子得到?jīng)_量，井與蒸汽流股一起被帶向泵工作室的內(nèi)壁。流股將氣體帶向泵壁，井將其壓縮達(dá)到排氣壓力；這時(shí)，蒸汽在冷卻壁上冷凝，而從流股獲得排氣方向沖量的氣體，沿泵壁在薄的靠壁層中流向排氣管。
除直接擴(kuò)散外，有時(shí)發(fā)生氣體從預(yù)負(fù)壓側(cè)向蒸汽流股的反向擴(kuò)散過程。但在這種隋況下，沿指向流股方向運(yùn)動(dòng)的氣體分子與反向運(yùn)動(dòng)的蒸汽分子相撞，受到相反方向的擠壓；僅有一小部份氣體分子可以通過流股反向擴(kuò)散至進(jìn)氣管區(qū)域。因?yàn)榱鞴煽偸茄嘏艢夥较蛄鲃?dòng)(從進(jìn)氣口至排氣口)，所以在泵的正常工作制度下從預(yù)負(fù)壓側(cè)經(jīng)過流股擴(kuò)散過去的氣體分子數(shù)量較從進(jìn)氣管側(cè)擴(kuò)散至流股的氣體分子數(shù)量，是小得不能相比的。
因此，高真空泵的排氣作用基本上決定于兩個(gè)因素，即氣體分子向蒸汽流股中的擴(kuò)散和氣體分子被流股傳遞至預(yù)負(fù)壓的對(duì)流作用。
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