真空泵是用以產(chǎn)生、改善和維持真空的裝置。按其工作壓強(qiáng)，可分為低真空泵、高真空泵和超高真空泵;按其工作原理，大致可分為下面兩大類：
(1)壓縮型真空泵。也稱為排除型真空泵。其原理是將氣體由泵的入口端壓縮到出口端，并排出泵體外。例如，利用膨脹一壓縮作用的旋轉(zhuǎn)式機(jī)械真空泵、滑閥泵、羅茨泵等;利用氣體黏滯牽引作用的蒸汽流噴射泵;利用氣體擴(kuò)散作用的蒸汽流擴(kuò)散泵;利用分子牽引作用的分子泵等。
(2)吸附型真空泵。也稱俘獲型真空泵。其原理是利用各種吸氣作用將氣體吸附在泵體內(nèi)以達(dá)到降低氣體壓強(qiáng)的目的。例如，利用電離吸氣作用的離子泵;利用物理或化學(xué)吸附作用的吸附泵、低溫冷凝泵和吸氣劑泵等。在這類泵中，氣體分子并不排出泵外，而是被永久儲存或暫時儲存于泵內(nèi)。
任何真空泵，在其工作時除了抽氣因素外，總是存在著與抽氣相矛盾的因素。例如，氣體經(jīng)壓縮后的反擴(kuò)散、氣體分子從表面的脫附等，這些現(xiàn)象稱為真空泵的返流。只有在抽氣作用強(qiáng)于返流時，泵才能有效地工作。因此，每種泵都有自己的有效運(yùn)用壓強(qiáng)范圍及固有特點(diǎn)。設(shè)計(jì)、制造及運(yùn)用各種真空泵都是以加強(qiáng)抽氣作用、抑制返流為目的的。
有些真空泵可以直接在大氣下開始工作，如機(jī)械泵和吸附泵;有些泵不能從大氣開始，如擴(kuò)散泵、分子泵、離子泵等，這時就必須輔以滿足一定要求的前級泵，提供其正常工作所需要的真空度。因此，真空泵按其在真空系統(tǒng)中的角色還可以分為主泵、前級泵、輔助泵等。前級泵有兩個作用：一是為高真空泵的運(yùn)轉(zhuǎn)提供初始環(huán)境，因?yàn)楦哒婵毡猛ǔ２荒茉诖髿鈮合逻\(yùn)轉(zhuǎn);二是在高真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)時，前級泵幫助把高真空泵排出的氣體排到大氣中去。
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